較薄可測試0.005um
較多可測試層數5層
原理X熒光光譜
檢測器類型SDD探測器
算法FP基本參數
X-ray熒光鍍層測厚儀介紹:
被分析樣品在X射線照射下發出的X射線,它包含了被分析樣品化學組成的信息,通過對X射線熒光的分析確定被測樣品中各組分含量的儀器就是X射線熒光分析儀。由原子物理學的知識,對每一種化學元素的原子來說,都有其特定的能級結構,其核外電子都以其特有的能量在各自的固定軌道上運行。內層電子在足夠能量的X射線照射下脫離原子的束縛,成為電子,這時原子被激發了,處于激發態。此時,其他的外層電子便會填補這一空位,即所謂的躍遷,同時以發出X射線的形式放出能量。由于每一種元素的原子能級結構都是特定的,它被激發后躍遷時放出的X射線的能量也是特定的,稱之為特征X射線。通過測定特征X射線的能量,便可以確定相應元素的存在,而特征X射線的強弱(或者說X射線光子的多少)則代表該元素的含量或厚度。
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